歷時11個月建設期，最高峰時1500多人同步施工作業，23日，總建筑面積22.2萬平方米的湖南三安半導體產業園項目竣工點亮儀式順利舉行，這標志著湖南首個第三代半導體產業園落成，國內首條碳化硅全產業鏈生產線正式投產。

記者了解到，項目一期主要包含碳化硅長晶、襯底、外延、芯片、器件封裝等廠房及相關配套設施建設，將成為推動湖南新一代半導體及集成電路產業鏈發展的強大動力。作為長沙產業鏈上的一顆“新星”，湖南三安半導體產業園項目蘊藏著怎樣的奧秘?記者23日走進該項目一探究竟。

潔凈等級標準領先于行業

“為了滿足半導體制造工藝需求，生產車間必須達到潔凈車間的標準。”項目施工方、中建五局三公司項目執行經理周祥告訴記者，潔凈車間是指將一定空間范圍之內空氣中的有害空氣、微粒子、細菌等污染物排除，并將室內壓力、潔凈度、溫度、氣流速度與氣流分布、照明及噪音振動、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的空間。

周祥進一步解釋，潔凈標準一般按照一級、十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級等劃分，數值越小，代表凈化級別越高。“普通公共場所殺菌消毒可參照三十萬級標準，醫院ICU病房殺菌消毒參照十萬級標準，而湖南三安半導體產業園項目半導體電子生產廠房M2B碳化硅芯片廠房為百級標準，每立方英尺的空氣中大于等于0.5微米粒徑的粒子數量不超過100個，潔凈等級標準上遠遠領先于行業。”

為了保證無塵潔凈室大面積生產車間的空氣潔凈度，需要建立潔凈空調通風系統，車間樓板中需預留大量規則的圓柱形垂直孔洞，以形成回風通道。這種利用樓板內孔洞形成回風通道的樓板結構稱為華夫板，是一種鋼筋混凝土密肋梁鏤空樓板，此類樓板厚度可達700毫米。

將為長沙產業發展注入強“芯”劑

第三代半導體材料以其優異電性能特性，幫助電源變換系統實現優異的功率密度和卓越的系統效率，使其在新能源汽車、光儲充等場景中發揮關鍵作用。湖南三安半導體產業園全面建成投產后，將形成兩條并行的碳化硅研發、生產全產業鏈產線，產品為高質量、低成本、高穩定性碳化硅襯底及各類器件，可廣泛用于新能源汽車、高鐵機車、航空航天和5G通訊等領域。

三安光電股份有限公司副董事長、總經理林科闖表示，湖南三安半導體的業務涵蓋襯底材料、外延生長、晶圓制造及封裝測試等環節，打造了國內第一條、全球第三條碳化硅垂直整合產業鏈，為客戶提供高品質準時交付，兼具規模化生產成本優勢。

湖南三安半導體產業園的投產，將為長沙注入強“芯”劑，憑借完整的碳化硅產業鏈布局和強大的制造平臺，項目將快速發展為具有自主知識產權、掌握核心技術與行業話語權、具有重要國際影響的碳化硅材料與器件產業生產基地。有利于形成以長沙高新區為中心的寬禁帶半導體產業聚落，加速上游IC設計公司設計與驗證迭代，縮短下游終端產品上市周期，推動產業鏈迅速發展。

據介紹，湖南三安半導體產業園項目總投資160億元，總占地面積1000畝，項目建成達產后，預計可實現年產值120億元，可直接提供4500個就業崗位，并帶動上下游配套產業產值預計超1000億元，提供近1萬個就業崗位。

(全媒體記者 陳煥明 通訊員 王麗 楊灝)

關鍵詞： 湖南 第三代半導體 產業園 產業鏈