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芯源微:公司前道涂膠顯影設備已完成在晶圓加工環節28nm及以上工藝節點全覆蓋


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【芯源微:公司前道涂膠顯影設備已完成在晶圓加工環節28nm及以上工藝節點全覆蓋】公司已經掌握包括涂膠顯影設備、單片式濕法設備等產品多項核心技術,并形成了完善的自主知識產權。公司前道涂膠顯影設備已完成在晶圓加工環節28nm及以上工藝節點全覆蓋,并可持續向更高工藝等級迭代。

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